使用大电流的分析时也可达高分辨率∶3.0nm(照射试样电流∶5nA、加速电：15kV、WD=10mm)

 

二次电子图像分辨率：1.5nm(15kV)、5.0nm (1kV)

 

最大发射试样电流200nA

 

无放射噪音、稳定的发射试样电流

 

通用大型试样室∶可插入最大至150mm直径的试样