
美国Gatan公司生产的透射电镜制样设备
PIPS 离子减薄仪的工作原理是:利用氩气,通过专利潘宁规式离子枪产生离子源,以轰击样品表面,从而对样品进行离子减薄操作。并且通过双束调制系统,可进行单、双离子枪工作的操作,同时还可控制对样品表面进行单、双面减薄转换。其专利的DuoPost 样品台设计及小角度的减薄速度,屏弃了传统的附加冷台装置,大大提高了透射电镜样品制备的工作效率。
PIPS 离子减薄仪的主要技术指标包括:
离子枪:两只潘宁规式离子枪装载微小磁铁
减薄入射角:10o 至 -10o,每只离子枪可独立调节
离子枪束能量:1.5keV 至6keV
减薄速度:硅,每小时40 微米,5 千伏 |